Рентгеновская флуоресцентная спектроскопия - определение толщины слоя

Кат.номер P2545205 | Тип: Эксперименты

45 Протокол

Университет

Учителя/Профессора , Студенты

большой сайт

Принцип

Рентгенофлуоресцентный анализ (XRF) подходит для бесконтактного и неразрушающего измерения толщины тонких слоев, а также для определения их химического состава. Для этого типа измерений источник рентгеновского излучения и детектор располагаются на одной стороне образца. Когда слой на подложке подвергается воздействию рентгеновских лучей, излучение проникает в слой, если он достаточно тонкий, в определенной степени, в зависимости от толщины, и в свою очередь вызывает характерное флуоресцентное излучение в материале подложки. На пути к детектору это флуоресцентное излучение будет ослаблено поглощением в слое. Толщина слоя может быть определена на основе интенсивности ослабления флуоресцентного излучения материала подложки.

Задание

Откалибруйте полупроводниковый детектор энергии.
Измерьте спектр флуоресценции железной подложки с различным количеством n кусочков алюминиевой фольги одинаковой толщины, помещенных на подложку (в том числе n = 0). Определите интенсивность линии флуоресценции Fe-Kα.
Постройте график интенсивности линии флуоресценции Fe-Kα в зависимости от числа кусочков алюминиевой фольги, помещенных на подложку, линейным и полулогарифмическим способом.
Определите интенсивность линии флуоресценции Fe-Kα для различного количества кусочков алюминиевой фольги, закрепленных перед выходом из трубки детектора энергии.
Рассчитайте толщину алюминиевой фольги.
Выполните задания 2-4 для медной фольги на молибденовой или цинковой подложке.

Что вы можете узнать о